近年放射治療的進展主力在治療設備的精進。隨著科技進步，治療技術從三度空間順形放射治療(Three-Dimensional Conformal Radiation Therapy, 3DCRT)進展為強度調控放射治療(Intensity-Modulated Radiation Therapy, IMRT)及其相關的整合技術。IMRT使用直線加速器(Linear Accelerator)結合電腦治療計劃及多葉準直儀(Multi Leaf Collimator, MLC)的技術，讓高劑量儘量集中於腫瘤區域，降低鄰近正常組織之傷害，提高治療效果及減輕副作用。於頭頸部的IMRT可以大幅降低脊隨、唾液腺與視神經的照射劑量，這些特點與好處是傳統的3DCRT 無法達到的 。使用IMRT技術最重要的是要有精良的設備及醫療團隊的熟練度，以及豐富的臨床治療經驗。
　　螺旋刀治療（Tomotherapy）由螺旋狀360度傳送模式來輸送強度調控的放射線治療，此為改良自直線加速器可能因旋轉臂與治療床會產生碰撞導致治療上的死角；另一方面希望將治療時的影像與計劃時的影像融入治療過程中，如此可在患者治療前清楚地偵測病灶部位的變化情形、每次治療時位置的準確性提供即時的修正。當線性加速器鎖定腫瘤後，即在患者周圍螺旋迴轉引導發射出最優化的輻射線束，然後逐漸的傷害消滅腫瘤。
　　弧形調控放射治療（Volumetric Modulated Arc Therapy, VMAT），以360度弧形調控放射治療，在射束動態給予的過程中，同時最佳化各角度射束之強度調控，大幅縮短治療時間，同時藉由影像導引提昇治療精準度。運用在攝護腺癌及鼻咽癌治療。藉由劑量學的分析，研究結果已證實VMAT可提升腫瘤的劑量覆蓋率與減少正常組織的輻射劑量，顯著縮短治療時間，增加治療效率。若是腫瘤形態為兩側都存在著相當重要之危及器官,如肝癌、肺癌、胰臟癌等, 單純共面之放射治療角度, 常無法提供足夠之治療效果,此時以非共面之 VMAT 放射治療技術,潛在可能提供較佳之治療品質,和減少副作用。
　　影像導引放射治療(Image Guidance Radiotherapy, IGRT)，在直線加速器上，搭配可以執行高解析度的錐狀射束(Cone-beam)或扇狀射束(Fan-beam)之MV或KV電腦斷層影像設備，可以進行即時性電腦斷層掃描及影像融合，提供三度空間之病人影像對位結果，修正位移誤差。對於治療中可能因呼吸造成腫瘤移動的病人，例如肺癌，除了於每次放射治療前進行IGRT修正位移，治療中還可以透過呼吸調控控制系統,減少病人因呼吸時所造成腹部及胸部器官的之間的移動，使放射治療更為精準。